半導體芯片塗膠機如何實現精準均勻塗覆光刻膠？德國彗諾HNPM微量齒輪泵來幫你！

半導體行業一直以來都處於技術創新的前沿。在該行業中，塗膠機是光刻前道中一項至關重要的設備，它負責光刻膠的塗覆和顯影操作，為光刻機的後續曝光過程提供必要的輸入。而在光刻塗膠顯影設備技術中存在一個重要難題，即如何確保膠膜的塗覆均勻性。對於眾多的設備廠商和研究人員而言，精確供膠是實現膠膜厚度和均勻性高效控製的關鍵。因此，在塗膠工藝中，準確地供應膠液成為了一個備受關注的問題。

德國彗諾HNPM微量齒輪泵可以幫助半導體芯片塗膠機實現精準均勻塗覆

為了滿足高精度塗膠的要求，德國彗諾HNPM微量齒輪泵被設計用來穩定供給光刻膠和丙酮等材料。該微量齒輪泵能夠實現對供膠量、供膠速度等參數的精確控製，並與可編程控製器配合使用，以實現均勻塗覆的塗膠效果。通過利用回縮效應，該技術能夠實現無滴注膠，從而提高塗膠的均勻性和產品的良品率。

德國彗諾HNPM微量齒輪泵以其出色的精確度和穩定可靠性而著稱。在芯片塗膠機中，供膠泵扮演著至關重要的角色，用於輸送光刻膠、丙酮等液體。

傳統泵在處理高粘度或微量液體時的能力有限，並且由於控製精度不足而可能導致泄漏或輸送量過少的情況。而德國彗諾HNPM微量齒輪泵能夠高效快速地輸送廣泛粘度和具有腐蝕性的液體，確保光刻膠的準確輸送，提高塗膠的質量。該泵的結構緊湊，體積小巧，適應各種安裝環境，為塗膠機的設計帶來了極大的靈活性。

德國彗諾HNPM微量齒輪泵工作原理

德國彗諾HNPM微量齒輪泵的兩個偏心輪在旋轉的時候通過擺線針輪齧合，以保證在任何時候係統都有幾個密封的泵室，齧合齒的尺寸比例大致為6/7，可產生6個密封的泵室。

德國彗諾HNPM微量齒輪泵的軸被連接到內部轉子，由精確控製的電動馬達提供動力。外部轉子安裝可轉動的基座，並通過內部轉子驅動。

隨著偏心軸轉子的轉動，進料側的泵室空間增加，出料側的泵室空間減小，並且因此產生一個均相和低脈動流量，此時同時也會產生幾個相同的泵室，在運轉過程中，泵的輸送方向是可逆的。

憑借其精確度、穩定性、處理能力和靈活性，在半導體行業中塗膠工藝中發揮越來越重要的作用。它的先進技術和可靠性能使得生產廠商和研究人員能夠更好地控製液體輸送過程，提高產品質量、生產效率和工藝穩定性。